Objectif : Manager et valoriser l’innovation.
Développement de technologies jet d’encre et implémentation de procédés innovants pour l’électronique imprimée.
Contrôle de la fonctionnalisation de revêtements de surface obtenus par PECVD à partir d’un composé organosilicié cyclique.
Brevets :
Etude des mécanismes de croissance de dépôt SiOxCyHz barrière aux gaz obtenus par PECVD.
Mise en œuvre d’un pilote industriel PACVD de dépôts couches minces à partir de composés organosiliciés.
Synthèse de revêtements minces, transparents et conducteurs d’oxyde de zinc dopé à l’aluminium élaborés par pulvérisation cathodique magnétron.
Contrôle de la fonctionnalisation de surface de revêtements obtenus par PECVD à partir d’un composé organosilicié cyclique
La fonctionnalisation de surface est une étape clef dans la réalisation de micro-dispositifs tels que les MEMS ou les biopuces. Le contrôle localisé des propriétés de surface est également important dans de nombreuses situations telles que la gestion de l’eau dans les micro-piles à combustible ou lors de la localisation de substances chimiques ou biologiques. Ces travaux se proposent d’étudier le potentiel de la polymérisation plasma d’un composé organosilicié cyclique pour répondre à ces besoins variés en fonctionnalisation de surface. Il est montré l’influence relative de paramètres opérationnels critiques sur la cinétique et les régimes de croissance du matériau. Ces paramètres régissent en grande partie la conformation du polymère plasma qui en déterminera les propriétés de volume. Ces propriétés de volume influent sur les propriétés de la surface. Ainsi, il est possible d’obtenir des surfaces de basse énergie, 18 mJ·m−2 et de haute énergie, 68 mJ·m−2, en fonction des conditions de synthèse. Il est montré comment la nature cyclique de la conformation du polymère peut, de manière surprenante, contrôler finement les propriétés d’hystérésis de mouillage de la surface lorsque le procédé de synthèse est en régime d’oligomérisation. Enfin, l’intérêt pratique d’un tel procédé est illustré
par quelques exemples applicatifs révélant le potentiel de ces matériaux, les polydiméthylsiloxanes cycliques plasma.
Mots-clefs : PECVD, Plasma, Polymérisation plasma, Organosiliciés, Films minces, Dépôts, Énergie de surface, FTIR, XPS, Ellipsométrie, Hystérésis de mouillage.
Journaux - Conférences - Brevets
O. RACCURT, J. BERTHIER, P. CLEMENTZ, M. BORELLA and M. PLISSONNIER. On the influence of surfactants in electrowetting systems.
Colloids and Surfaces A : Physicochemical and Engineering Aspects, 2007. doi:10.1088/0960-1317/17/11/007
T. SORDEL, F. KERMAREC-MARCEL, S. GARNIER-RAVEAUD, N. GLADE, F. SAUTER, C. PUDDA, M. BORELLA, M. PLISSONNIER, F. CHATELAIN, F. BRUCKERT and N. PICOLLET-D’HAHAN.
Influence of glass and polymer coatings on CHO cell morphology and adhesion. Biomaterials, 28 (8), pages 1572-1584, 2007. doi:10.1016/j.biomaterials.2006.10.032
M. BORELLA, M. PLISSONNIER and T. BELMONTE.
PECVD Synthesis of Polysiloxane-Like Thin Films with Very Low Contact Angle Hysteresis. Plasma Processes and Polymers, 4 (S1), pages S771-S775, 2007. doi:10.1002/ppap.200731902
Matériaux 2006 M. BORELLA, M. PLISSONNIER et T. BELMONTE. Poster. Synthèse PECVD de films minces de type Polysiloxane disposant d’une hystérésis d’angle de contact très faible. 2006, Dijon, France.
PSE2006. M. BORELLA, M. PLISSONNIER and T. BELMONTE.
Présentation orale. PECVD Synthesis of Polysiloxane-Like Thin Films with Very Low Contact Angle Hysteresis. 2006, Garmisch-Partenkirchen, Germany.
25ème JNOG. C. MARTINEZ, K. GILBERT, C. KOPP et M. BORELLA. Poster. Assemblage de fibres par réplication polymère. 2006, Metz, France.
IEACM-2. M. BORELLA, M. PLISSONNIER, N. GLADE et T. BELMONTE.
Poster. Fonctionnalisation de Surface de Films Minces de Type Polysiloxane pour une Adhésion Localisée de Substances Chimiques et Biologiques, lauréat du meilleur poster. 2005, Nancy, France.
M. PLISSONNIER, F. GAILLARD, M. BORELLA et P. FAUCHERAND. Matériau à base de polysiloxane et à faible hystérésis de mouillage et procédé de dépôt d’un tel matériau (WO2007003754, FR2887891) 2005.
M. PLISSONNIER, I. CHARTIER, M. BORELLA et N. GLADE. Procédé de localisation d’une espèce chimique ou biologique sur un substrat, micro-système d’analyse et biopuce (WO2006005887, FR2872911) 2006.
E. DAMERY, A. LATOUR, M. BORELLA and D. LOCATELLI. Electrode de pile à combustible à perméabilité modifiée (dépôt en cours) 2006.
M. BORELLA, M. PLISSONNIER, F. GAILLARD et E. ROUVIERE. Substrat de culture pourvu d’un revêtement en silicone oxydée (EP1897936) 2007.