Aire, m2.
Absorbance, ua.
Aire intégrée, ua.
Célérité de la lumière, m.s-1.
Débit de gaz de dilution d, sccm.
Débit de gaz de bullage, sccm.
Distance inter-électrodes, mm.
Débit de précurseur, sccm.
Épaisseur, nm.
Champ électrique, V.m-1.
Énergie d’activation, J.m-3.
Énergie libre, J.
Force, N.
Accélération de la pesanteur, m.s-2.
Facteur géométrique, cm-2.
Énergie libre, J.
Travail d’adhésion, J.
Indice optique, -.
Coefficient d’absorption, -.
Masse, kg.
Masse molaire, g.mol-1.
Pression, Pa.
Paramètre composite plasma, W.sccm-1.
Proportion relative, %.
Puissance, W.
Densité de puissance surfacique, W.cm-2.
Densité de puissance volumique, W.cm-3.
Degré de réticulation, ua.
Écart moyen de rugosité, nm.
Écart quadratique de rugosité, nm.
Étalement, mJ.m-2.
Entropie, J.K-1.
Temps, s.
Température, K.
Transmittance, ua.
Énergie interne, J.
Volume, m3.
Vitesse de dépôt, nm.min-1.
Tension d’auto-polarisation, V.
Travail, J.
Charge transverse, C.
Constante de force centrale d’interaction O-Si, N.m-1.
Constante de force non centrale d’interaction O-Si, N.m-1.
Constante de force coulombienne d’interaction Si-Si, N.m-1.
Énergie de surface}, mJ.m-2.
Composante dispersive, mJ.m-2.
Composante polaire, mJ.m-2.
Vibration de déformation asymétrique dans le plan, -.
Vibration de déformation symétrique dans le plan, -.
Constante diélectrique du vide, -.
Constante diélectrique, -.
Angle de contact, °.
Température d’ébullition, K.
Température de fusion, K.
Angle de la liaison SiOSi, °.
Longueur d’onde, nm.
Potentiel chimique, J.mol-1.
Fréquence, Hz.
Nombre d’onde, cm-1.
Vibration d’élongation asymétrique, -.
Vibration d’élongation symétrique, -.
Masse volumique, kg.m-3.
Vibration de déformation asymétrique hors du plan, -.
Taux de dilution, %.
Taux de dissociation, %.
Angle d’incidence, °.
Vibration de déformation symétrique hors du plan, -.
Fréquence angulaire de vibration, rad.s-1.
Le contenu de cet article est une reproduction numérique en ligne de la thèse de Mathias Borella soutenue en octobre 2006. Seules les informations délivrées dans l'édition papier du manuscrit font foi, sont valides et vérifiées. En cas de doute, merci de vous y référer.
Cet article a été publié en ligne pour la première fois en Février 2009. Il a été passé en revue pour la dernière fois le 21 février 2009.